מכלול שיטות ליצירת דגמים ומבנים זעירים מאוד בקנה מידה ננומטרי, במיוחד בייצור רכיבים במיקרואלקטרוניקה ובננוטכנולוגיה. "המעבדה מפתחת שיטות ננוליתוגרפיה לייצור שבבים צפופים יותר." "באמצעות ננוליתוגרפיה אפשר ליצור דפוסים שגודלם קטן ממאה ננומטר." "המאמר סוקר שיטות שונות של ננוליתוגרפיה ואת יישומיהן בחיישנים זעירים."

ננוליתוגרפיה (אנגלית: Nanolithography) מתייחסת למכלול שיטות ייצור בתחום המיקרואלקטרוניקה והמיקרומכניקה המאפשרת ייצור סדרתי של מבנים בגדלים ננומטרים, משמע שאחד מממדיהם קטן מ⁻100 ננומטר. ננוליתוגרפיה נפוצה בייצור שבבים מוליכים למחצה ומעגלים מודפסים. מתוך ויקיפדיה

ננוטכנולוגיית DNA, ננוטכנולוגיית דנ"א, ננוטסלה, ננוטק, ננוליטר, ננוליתוגרפיית עט נובע, ננומאה, ננומחשב, ננומטר, ננומטרולוגיה